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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
ISO9级ISO9级的无尘车间主要应用于对洁净度要求一般的行业，如一般装配车间、仓库等。这些车间的洁净度要求相对较低，能够控制空气中的微小颗粒物浓度在每立方米100个以下。
三、无尘车间的关键要素
无尘车间的洁净度不仅*取决于等级划分，还与以下几个关键要素密切相关:
1. 空气过滤系统:无尘车间的空气过滤系统是洁净度的重要设备。它通过过滤空气中的颗粒物，控制洁净度达到要求。
1000级-10万级洁净室的气流方向和100级以上的洁净室不同，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动，拌有回流或涡流，它主要靠过滤后洁净的气流不断稀释室内的空气，将室内的污染逐渐排出，来实现洁净效果。不同等级的无尘室，主要是依靠单位时间内所送风量（换气次数）的不同来实现。 无尘室管控之项目 1，能除去空气中之微尘粒子 2，能微尘粒子产生 3，温度和湿度之控制 4，压力之调节 5，结构物与隔间之气密性 6，静电之防制 7，因素之考虑8，之考量 9，电磁干扰预防
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Class X (at Y μm )其中X是无尘室的等级，例如100或10000等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子:Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)Class 100(0.2μm , 0.5μm )Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....)，一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... )，一般要看多几个粒径。第二个技巧是规定无尘室的状态，例如:
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