贵阳医院无尘室车间专业设计施工团队
无尘墙面与地板清洁系统
洁净室专用地坪清洁剂含有纳米二氧化硅成分,能在表面形成保护膜,减少微粒脱落。电动清洁机配合旋转速度<100rpm的软毛刷头,可避免产生二次污染。验证数据显示,该系统可使地板颗粒脱落量从5000个/m³·min降至50个/m³·min,维持Class 1000级洁净度要求达72小时以上。
6)噪声控制:一、动态检测时,万级无尘室内的噪音级不得超出70分贝A。
二、静态检测时,万级乱流无尘室的噪音级不能超出60分贝A。
7)送风方式:
气流组织10万级无尘室主要采用的送风方式有以下三种:
1、部孔板顶棚送风;
2、带扩散板空气过滤器顶棚送风;
3、上侧墙送风 等三种送风方式。
原则:无尘车间里存在大量可以节约能源(解释:向自然界提供能量转化的物质)的地方,例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩,很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径,尽可能(maybe)地压缩前期投入,而不顾后期运行费用。率(efficiency)的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本,会造成工厂的运行性能降低(reduce)和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。
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4)温度、湿度:10万级无尘室对溫度、湿度无要求时,以穿着洁净服不产生舒适感为宜,温度一般控制在秋冬季20~22℃;春夏季24~26℃;波动±2℃。秋冬季洁净车间空气湿度控制在30-50%,春夏季洁净车间空气湿度控制在50-70%。
洁净室(区)的主要生产用地一般照度值宜≥300Lx;辅助工作室、人员洁净和物料洁净用室、气闸室、过道等的照度值宜为200~300Lx。
Class X (at Y μm )其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子:Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)Class 100(0.2μm , 0.5μm )Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。第二个技巧是规定无尘室的状态,例如: