大连药厂洁净车间18年专业团队
无尘车间清洁剂的技术标准
无尘车间专用清洁剂需符合ISO 14644-1洁净度标准,其配方要求无颗粒脱落、低挥发性的特性。这类清洁剂通常采用超纯水作为基底,搭配非离子表面活性剂,确保在清洁过程中不会引入新的污染物。半导体行业使用的清洁剂还需通过SEMI认证,金属离子含量控制在ppb级(如钠、钾离子<1ppb)。实验数据显示,优质无尘车间清洁剂的残留量<0.1μg/cm²,远低于普通清洁剂的50μg/cm²,可有效维持Class 100洁净环境。
风口风速:送风口风速米/秒:(1)孔板孔口3~5;(2)侧送风口:①贴附射流2~5;②非贴附射流同侧墙下部回风1.5~2.5,对侧墙下部回风1.0~1.5。压差:相同洁净度级别的洁净车间之间的压差应一致,不同洁净度级别的相邻洁净车间之间的压差应5Pa,洁净车间与非洁净车间之间的压差应10Pa。7、噪声控制:(1)动态检测时,万级无尘室内的噪音级不得超出70分贝A。(2)静态检测时,万级乱流无尘室的噪音级不能超出60分贝A。
在无尘净化车间里面吸尘的时候要用带有过滤器(作用:过滤杂质等)的真空吸尘器;6、的门都要检查并擦干净
7、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面;
8、架空地板下面也需要吸尘和"擦拭(cleanse)
9、90天擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱;
10、清洁时记住,什么时候都是从上往下擦,从离门远的地方向门的方向擦。
大连药厂洁净车间18年专业团队
悬浮粒子数大允许数/m3
近似对应传统洁净度
10,000级100,000级各国洁净度等级近似对照表
个 / M ≥0.5um
ISO14644-1(1999)
US209E(1992) US209D(1988)
EECcGMP(1989)
FRANCEAFNOR(1981)
35,200,000
8,320,000
293,000
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平
GB50073-2013 国家标准—空气洁净度等级空气洁净度等级(N) 大于或等于表中粒径的大浓度限值(pc/m³)
9(一百万级) 中国GMP(2010年修订)新版GMP附录1 无菌品.第三章.第九条……洁净区各级别空气悬浮粒子的标准规定如下