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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
微生物的大允许数量4、浮游菌数不得超过每立方米100个
5、沈隆菌数每培养皿不得超过3个
6、压差:相同洁净度等级的洁净室压差一定，不同洁净度等级的相邻洁净室之间的压差超过5Pa，洁净室与非洁净室之间超过10Pa。1万级洁净室对温度、湿度没有要求的情况下，好穿着干净的工作服，不要有舒适感，温度通常为冬季的20-22;夏天:24-26;波动2。洁净室的湿度冬季控制在30-50%，夏季控制在50-70%。
1000级-10万级洁净室的气流方向和100级以上的洁净室不同，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动，拌有回流或涡流，它主要靠过滤后洁净的气流不断稀释室内的空气，将室内的污染逐渐排出，来实现洁净效果。不同等级的无尘室，主要是依靠单位时间内所送风量（换气次数）的不同来实现。 无尘室管控之项目 1，能除去空气中之微尘粒子 2，能微尘粒子产生 3，温度和湿度之控制 4，压力之调节 5，结构物与隔间之气密性 6，静电之防制 7，因素之考虑8，之考量 9，电磁干扰预防
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为了尽量减少操作中人员活动造成的污染，人员在进入无尘区前需要更换无尘服，洗手、、淋浴。这些措施是；人员净化。人员净化室更换无尘服装的房间应送风，侧等房间应保持正压，卫生间、淋浴应保持少量正压，卫生间、淋浴应保持负压。物料净化道路各种物品在送入无尘区域前经过净化处理，简称物理净化。物料净化道路应与人工净化道路分开。如果物料和人员只能在同一个地方进入无尘车间，也有必要分开进入，物料应先经过粗净化处理。在生产线不强的情况下，可以在物料道路中心设置中心仓库。如果生产线很强，则选择直通物料道路，有时需要在直通道路中心设置反复净化和传输设备。在系统规划中，物理净化室的粗净化和精净化阶段会吹掉大量的生颗粒，因此相对无尘区应坚持负压或零压。如果污染风险较大，方向也应坚持负压。
洁净车间的日常维护包括定期清洁和设备检查。清洁工作应由专门培训的人员进行，使用适合洁净室的清洁剂和工具，确保不会对洁净环境造成污染。此外，定期检查空气过滤系统和HVAC（暖通空调）设备，以确保其正常运作，对保持洁净度。维护记录应当详细记录，以便追踪和管理。评估洁净车间的空气质量通常需要进行颗粒物监测和空气质量检测。可以使用粒子计数器来测量空气中不同粒径的颗粒物浓度，确保其符合相应的洁净室等级标准。