长春十万级净化车间18年专业团队
无尘墙面与地板清洁系统
洁净室专用地坪清洁剂含有纳米二氧化硅成分,能在表面形成保护膜,减少微粒脱落。电动清洁机配合旋转速度<100rpm的软毛刷头,可避免产生二次污染。验证数据显示,该系统可使地板颗粒脱落量从5000个/m³·min降至50个/m³·min,维持Class 1000级洁净度要求达72小时以上。
ISO Class4
ISO Class5
100,000
ISO Class6
1,000,000
237,000
102,000ISO Class7352,000
ISO Class8 3,520,000
832,000
ISO Class9
材料选择的致标准1、型材系统:采用航空级铝合金型材,经过阳氧化处理形成致密氧化膜,表面粗糙度需控制在Ra≤0.2μm。型材空腔设计采用多腔体结构,内置隔断形成气密屏障,同时填充高分子吸音材料以降低振动传导。某净化工程案例中,型材接缝处采用激光焊接技术,焊缝平整度误差不超过0.05mm。 2、玻璃配置:使用双层钢化Low-E玻璃,中间充填氩气层,传热系数≤1.5W/(㎡·K)。玻璃边缘需进行三边磨边处理,倒角精度要求±0.1mm,微颗粒积聚。某芯片工厂实测数据显示,采用12mm+12mm真空玻璃组合时,室内外压差50Pa条件下的空气泄漏量仅为0.01m3/(h·m)。
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8)回风方式:10万级无尘室主要采用的回风方式主要有:
1、单侧墙下部布置回风口;
2、当采用过道回风时,在过道内均匀布置回风口或在过道端部集中设置回风口。
9)风口风速:
送风口风速米/秒:
1、孔板孔口3~5;
2、侧送风口:
(1)贴附射流2~5;
(三)门窗安装 安装特制的气密门窗,确保无尘车间的气密性良好,外界污染物进入。 (四)通风管道与过滤器安装
安装通风管道和过滤器,确保空气流通顺畅,净化系统运行正常。此步骤需注意系统的密封性,避免外界污染物进入。
(五)照明与电力系统安装安装防尘防爆灯具,以及必要的电力线路和插座,确保无尘车间内有的照明和电力供应。电气布线时要采用低烟无卤电线电缆等具有良好阻燃性能的线缆,保障人员。