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无残留挥发性清洁剂开发
新一代无尘车间清洁剂采用氢氟醚（HFE）作为溶剂，其ODP（臭氧破坏潜能）为零，在常温下即可完全挥发。气相色谱检测显示，其挥发残留＜0.01mg/m³，远低于传统氟利昂类溶剂的50mg/m³。某航天实验室使用证明，该清洁剂对精密陀螺仪的清洁合格率达100%，且不会影响润滑剂性能。
无尘车间洁净标准: 洁净度标准按照不同等级的无尘车间，对应不同的粒子数量限制，具体如下:
十级洁净标准:每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.1μm之灰尘粒子不超过350颗，大于或等于0.3μm之灰尘粒子不超过30颗，大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过10颗。
百级洁净标准:每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.2μm之灰尘粒子不超过750颗，大于或等于0.3μm之灰尘粒子不超过300颗，大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过100颗。千级洁净标准:每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过1000颗，大于或等于5μm之灰尘粒子不超过7颗。 万级洁净标准:每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过10000颗，大于或等于5μm之灰尘粒子不超过70颗。
原则:无尘车间里存在大量可以节约能源（解释:向自然界提供能量转化的物质)的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能（maybe)地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。率（efficiency)的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低（reduce)和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。
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无尘洁净车间，也被称为洁净厂房、洁净室(Clean Room）、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力等进行有效控制，以满足特定生产工艺要求的空间环境无尘洁净车间的等级主要分为十万级、万级、千级、百级、十级。数字越小，洁净等级越高
例如，百级的洁净室净化工程主要用于带宽小于2微米的半导体生产
8）回风方式:10万级无尘室主要采用的回风方式主要有:
1、单侧墙下部布置回风口；
2、当采用过道回风时，在过道内均匀布置回风口或在过道端部集中设置回风口。
9）风口风速:
送风口风速米/秒:
1、孔板孔口3~5；
2、侧送风口:
（1）贴附射流2~5；