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光学级无尘清洁剂的应用
光学元件清洁剂需满足"零划伤"要求,其配方不含任何研磨颗粒。采用超临界CO2清洗技术时,配合特种氟系溶剂可达到原子级清洁度。某镜头制造商的数据显示,使用低表面张力(18mN/m)的光学清洁剂后,镜片不良率从500PPM降至20PPM。这类产品通常通过NASA标准测试,确保在太空环境中不会挥发或结晶。
无尘车间洁净标准: 洁净度标准按照不同等级的无尘车间,对应不同的粒子数量限制,具体如下:
十级洁净标准:每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.1μm之灰尘粒子不超过350颗,大于或等于0.3μm之灰尘粒子不超过30颗,大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过10颗。
百级洁净标准:每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.2μm之灰尘粒子不超过750颗,大于或等于0.3μm之灰尘粒子不超过300颗,大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过100颗。千级洁净标准:每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过1000颗,大于或等于5μm之灰尘粒子不超过7颗。 万级洁净标准:每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过10000颗,大于或等于5μm之灰尘粒子不超过70颗。
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材料选择的致标准1、型材系统:采用航空级铝合金型材,经过阳氧化处理形成致密氧化膜,表面粗糙度需控制在Ra≤0.2μm。型材空腔设计采用多腔体结构,内置隔断形成气密屏障,同时填充高分子吸音材料以降低振动传导。某净化工程案例中,型材接缝处采用激光焊接技术,焊缝平整度误差不超过0.05mm。 2、玻璃配置:使用双层钢化Low-E玻璃,中间充填氩气层,传热系数≤1.5W/(㎡·K)。玻璃边缘需进行三边磨边处理,倒角精度要求±0.1mm,微颗粒积聚。某芯片工厂实测数据显示,采用12mm+12mm真空玻璃组合时,室内外压差50Pa条件下的空气泄漏量仅为0.01m3/(h·m)。
动线规划要点:要检讨分析(Analyse)人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等,尽量缩短动线,并避免交叉,以交叉污染。作业者、化学品、材料等动线勿集中;无尘车间四周,宜设缓冲区;制造装置的出入,不要对作业产生大影响。3、有些空气净化系统的空气,如经处理仍不能避免交叉污染时,则不能循环(continue)使用:固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序;用有机溶媒精制的原料精制、干燥工序;放射性品生产区;病原体操作区;工艺过程中产生大量有害物质、挥发性气体的生产工序;固体口服制剂的颗料