安徽药厂万级净化系统专业设计团队
无尘车间清洁剂的技术标准
无尘车间专用清洁剂需符合ISO 14644-1洁净度标准,其配方要求无颗粒脱落、低挥发性的特性。这类清洁剂通常采用超纯水作为基底,搭配非离子表面活性剂,确保在清洁过程中不会引入新的污染物。半导体行业使用的清洁剂还需通过SEMI认证,金属离子含量控制在ppb级(如钠、钾离子<1ppb)。实验数据显示,优质无尘车间清洁剂的残留量<0.1μg/cm²,远低于普通清洁剂的50μg/cm²,可有效维持Class 100洁净环境。
1 设计原则无尘车间的设计遵循严格的标准,确保能够有效地控制空气中的微粒含量。设计时需考虑以下几个关键因素: - 空气净化系统:采用过滤器(HEPA)和超过滤器(ULPA)来过滤空气中的微粒。 - 气流模式:根据车间的等级选择垂直层流或水平层流,确保空气以均匀的速度流动。
- 压力控制:维持正压环境,外部污染进入。
- 建筑材料:使用不易产生灰尘的材料,如不锈钢和抗静电材料。
接下来是环境评估,通过现场环境评估来确定选址是否合理,以及为后续设计提供依据。例如,需要考虑地形地貌、周边污染源、气候条件等因素。基于上述信息,设计师将制定初步设计方案,包括平面布图、立面图、剖面图等,并进一步深化设计,细化每个区域的功能划分、设备选型、材料规格等内容,并编制详细的施工图纸和技术说明。选择合适的建筑材料对于无尘车间的质量。这些材料应具备低发尘性、易清洁等特点。同时,还需选购过滤器(HEPA)、预过滤器、空气处理单元(AHU)等空气净化系统设备,确保空气净化系统能够满足所需的清洁等级。监控与检测设备的选择同样重要,比如粒子计数器、温湿度传感器等,用于监测无尘车间内的环境参数。
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6)噪声控制:一、动态检测时,万级无尘室内的噪音级不得超出70分贝A。
二、静态检测时,万级乱流无尘室的噪音级不能超出60分贝A。
7)送风方式:
气流组织10万级无尘室主要采用的送风方式有以下三种:
1、部孔板顶棚送风;
2、带扩散板空气过滤器顶棚送风;
3、上侧墙送风 等三种送风方式。
无尘车间的等级划分根据标准ISO 14644-1,无尘车间被分为多个等级,如ISO 1级(干净)至ISO 9级(较不干净)。等级数字越小,表示空气中允许的粒子浓度越低,洁净度越高。例如,半导体芯片制造通常需要ISO 3级或更高标准的环境,而普通品生产可能适用ISO 7或8级标准。 无尘车间的应用范围其广泛,几乎涵盖了对环境清洁度有严格要求的行业: - 半导体制造业:芯片的制造过程对尘埃其敏感,哪怕是一粒微尘也可能导致芯片失效。- 生物制:在无菌环境下生产疫苗、抗体物,污染,确保品有效。