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无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予设计之房间。亦即是不论外在空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求洁净度、温湿度及压力等级能特性。洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
无尘车间,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。无尘车间拥有不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
无尘车间对温湿度的控制决取于其生产工艺。在满足加工工艺的条件下,还应该考虑(consider)到人的舒适感。因为人出汗以后,对产品将有污染,是怕钠(Sodium)的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故,相对湿度在50%时易生锈。很多用户一般不知道哪个级别的无尘车间干净,是千级还是万级?不,干净的无尘车间应该是百级无尘车间。一般来说,无尘车间按清洁等级可分为百级无尘车间、千级无尘车间、万级无尘车间和十万级无尘车间。等级越低,清洁度等级越高。
退出洁净车间时,可以不需要经过空气吹淋而进入更换区域。洁净车间的建设是比较复杂的,也需要很大一笔成本。所以建设好车间之后,一定要正确使用,不要因为使用不当而影响了车间的性能,下面这几点是使用洁净车间要注意的。禁止没有取得资格的人洁净车间,要工作人员或者其他相关人员才能洁净车间,而且车间也要按照规定流程去做,避免带入污染物。洁净车间要按要求穿戴好服装鞋帽等等,一定不能够用裸手直接接触洁净车间内产品。