赣州电子净化工程设计专业规划设计
按所输送物料性质安排管道。管道应集中敷设，冷热管要隔开布置，在垂直排列时，热介质管在上，冷介质管在下；无腐蚀性介质管在上，有腐蚀性介质管在下；气体管在上，液体管在下；不经常检修管在上，检修频繁管在下；高温管在上，低温管在下；保温管在上，不保温管在下；金属管在上，非金属管在下。水平排列时，粗管靠墙，细管在外；低温管靠墙，热管在外，不耐热管应与热管避开；无支管的管在内，支管多的管在外；不经常检修的管在内，经常检修的管在外；高压管在内，低压管在外；输送有腐蚀性介质的管道，不得在人行通道上方设置阀件、法兰等，以免渗漏伤人；输送介质的管道，不得敷设在生活间、楼梯间和走廊等处；管道通过防破区时，墙壁应采取措施封固，蒸汽或气体管道应从主管上部引出支管。
出口湿度的设定值。根据送风露点温度并与露点温度设定值进行比较，通过PID控制算法，得出一个计算值，根据该计算值来确定表冷阀和加湿阀开度的大小，其控制流程与温度控制类似，同时也引入了分程控制，避免临界状态下加湿与之间不断切换而导致的湿度控制的波动。洁净室温度控制洁净室内的温度PID 控制流程如图6 所示，采用的是基本的PID 控制， 由于洁净室本身的大空间而造成的大惯性、大时滞性，在设置PID
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。工业洁净车间管道布置的一般原则管路的布置类型一般有如下几种:埋地敷设管路；管沟敷设管路；沿地敷设管路；架空敷设管路。在管道布置设计时，首先要统一协调工艺和非工艺管的布置，然后按工艺流程并结合设备布置、土建情况等布置管道。没有洁净室，就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中，洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间，具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度，以达到适当的颗粒清洁度。