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无尘室中的洁净工作台可按产品要求或其它使用方法的要求，进行高清洁净度的局部净化操作。它能在操作台的局部空间内形成无菌、无尘的局部净化，它的主要组成部分包括预滤器、髙效过滤器、风扇单元、外壳、静压箱、台面及辅助电器元件等。
洁净室中无尘车间地板、墙面、天花板材料选购的知识对于半导体工业而言，无尘车间是一必要且不可缺之设备，其对空气中的粒子要求之严格，故对天花板、墙壁、地板的要求亦严格。地板是人员、台车及重量的运输，而清除地板所用者大部分为消品及化学品，当我们看见地板磨损时，也就是使用期已太久，快破裂了，不仅会使得清静度的降级，也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。无尘车间其选择地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R
将每立方米小于0.5微米的微尘量控制在3500微米以下，达到无尘标准A级。当前应用于晶片级生产和加工的无尘标准对粉尘的要求比A级高，这种高标号主要用于某些等级的芯片生产。该行业中所称的“1K”水平，严格控制每立方米1000个微尘。无尘室中的洁净工作台可按产品要求或其它使用方法的要求，进行高清洁净度的部净化操作。它能在操作台的部空间内形成无菌、无尘的部净化，它的主要组成部分包括预滤器、髙效过滤器、风扇单元、外壳、静压箱、台面及辅助电器元件等。
无尘净化车间的原理。净化车间是利用HEPA、空气净化设备，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而净化车间内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。无尘净化车间有三大原则:禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制带尘的好净化设备之一，它可以大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。