西藏线路板10万级净化车间专业规划设计
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。
湿度过高产生的问题更多,相对湿度超过55%时,冷却(cooling)水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。食品,保健品,饮料等车间对对生产洁净度要求是比较高的,通常为10万级至万级以上,但同时车间的湿度越低越容易滋生细菌(fungus),细菌和其他生物污染(霉菌,,真菌,螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时,可以使细菌的影响以及呼吸道降至。
材料和设备的进出也经过清洁程序,以免影响清洁度。清洁房间内的设备或材料时,工作人员穿干净的衣服。使用的擦拭纸是无尘纸或无尘布,不会脱落羊毛。除使用超纯水外,清洁剂还添加3~5%浓度的ipa或丙酮化学品,以增强去污能力。由于ipa和丙酮的挥发性,考虑该房间的排气影响。除了用于进出无尘车间的干净衣服、鞋子、兜帽、帽子、手套和口罩外,还有纸文具、桌子、椅子、芯片盒、手推车、笔记本、布告板、垃圾箱、吸尘器等。没有洁净室,就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中,洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间,具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度,以达到适当的颗粒清洁度。