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出口湿度的设定值。根据送风露点温度并与露点温度设定值进行比较，通过PID控制算法，得出一个计算值，根据该计算值来确定表冷阀和加湿阀开度的大小，其控制流程与温度控制类似，同时也引入了分程控制，避免临界状态下加湿与之间不断切换而导致的湿度控制的波动。洁净室温度控制洁净室内的温度PID 控制流程如图6 所示，采用的是基本的PID 控制， 由于洁净室本身的大空间而造成的大惯性、大时滞性，在设置PID
1000级这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等。100级很多人认为，这一级无尘车间是常用因而是重要的无尘车间，人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室，以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求。100级无尘室可用于医工业的无菌制造工艺等，这一洁净室大量应用于，植入体内物品的制造，外科手术，包括移植手术，集成器的制造，那些对细菌敏感的病人的隔离治比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。
无尘净化板车间的优势，防尘，防静电，抗菌等效果；有一定的耐腐蚀性，洁净室通常都需频繁擦拭，除了用水擦拭还会用消毒水、酒精等消毒，这些液体通常都有一定的化学品性，会使一些材料表面变色、脱落、恒远使用宝钢、冠洲等优质耐腐蚀原材料，板材使用更持久；还具有很好的抗氧化性，不产生锈蚀，整体来说净化板有平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚静电、避免眩光、并有舒适感等优点。
一般生物洁净室，主要控制微生物（细菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保持正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。生物学洁净室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。按气流分类(按气流可分为四类)单向流洁净室（层流、活塞流）辐射流（斜流）洁净室混合流洁净室（乱流、层流同在）单向流(层流)洁净室(又称垂直流，平行流)