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单向流洁净室的流态从雷诺数判断是紊流的,所以所谓层流洁净室的层流和流体力学上的层流是不同的概念。因此,层流洁净室这个名词是不贴切的,国外某些标准和文章也指出这一点,例如英国标准BS-5295就曾把所谓层流洁净室定义为单向流洁净室,只是照顾惯在括号中注明为层流。前联邦德国标准VDl- 2083则用“非紊流的置换流”这一术语,并在注中指出,层流这一概念只是为了区别早于层流洁净室出现的紊(乱)流洁净室而在当时采用的惯用语,“层流系统”的确切意思并不是分层流动,而是紊流的置换流,用本章提到的概念是紊流的渐变流。在流体力学中,这种流动状态也可称平行流或单向流。1977年中国在《空气洁净技术措施》中选用了“平行流”这个术语,在该术语后面同时也指出惯上称“层流”。
目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃,湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究,引入模糊控制,以提高温湿度控制的实际效果。温湿度控制系统实现基本上, 现在洁净室温湿度要求为22±2℃,45±5%RH,当然根据生产工艺的需求,对温湿度的要求也不尽相同。新风空调箱的温湿度控制新风空调箱基本结构新风空调箱基本结构如图3 所示,其处理流程如下:空气过滤———包括初效、中效、三部分;温度处理———包括预热盘管、一次表冷盘管、再热盘管三部分;
十万级洁净车间防静电环氧树脂地板工程。十万级洁净车间结构装修要点十万级洁净车间、更衣室内围护隔断和天花采用50mm厚的聚苯乙烯加芯彩钢板,吊顶高度为2.5米。十万级洁净车间内采用铝合金彩钢板单门、双门。人员进入洁净区经过换鞋间、更衣室、缓冲间进入。十万级洁净车间的地面采用防静电环氧树脂地板。无尘车间清洁要求如下:清洁洁净室墙壁时,应使用洁净室无尘布;用90%去离子水和10%异丙醇配制洗涤剂;没有洁净室,就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中,洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间,具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度,以达到适当的颗粒清洁度。