银川食品洁净室检测议专业生产厂家
在单向流洁净室内,干净气流不是一股或几股,而是充满全室断面,所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用,而是靠洁净气流的推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外,达到净化室内空气的目的。所以前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”,前苏联称之为“被挤压的弱空气射流”。干净空气就好比一个空气活塞,沿着房间这个“汽缸”,向前(下)推进,而使尘粒只能前(下)进,没有返回,把原有的含尘浓度高的空气挤压出房间。
洁净室温湿度处理基本流程及常见问题洁净室温湿度处理基本流程前摄像头:5.0MP 后摄像头:13.0MP AF半导体洁净室厂房通常采用新风空调箱(Meup Air Unit,MAU)+风机过滤单元(FanFilter Unit,FFU)+干冷盘管(Dry Cooling Coil,DCC)的设计,即新风空调箱MAU将具有一定洁净等级和温湿度的新风送到洁净室的回风通道中,与循环回风进行混合后进入洁净室吊顶上方,通过风机过滤单元FFU
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。
乱流洁净室也叫非单向流洁净室,非单向流洁净室的原理是靠洁净送风气流扩散、混合、不断稀释室内空气,把室内污染逐渐排出,达到平衡。简言之,非单向流洁净室的原理就是稀释作用。 特点:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。