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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
无尘车间技术(什么是无尘车间)通过无尘车间技术方面的各种设施和严格管理,使室内微粒子含量、气流、压力等也控制在一定范围内,这种房间空间称洁净室。
二、无尘车间技术的运用
1 微电子工业
微电子工业是当前对洁净室要求更高工业洁净业。此外,如现代工业中的液晶、光纤等的生产,同样均有洁净度的要求。
(1)品生产我国的《品生产管理规范》(又称GMP)已在全国范围内实施,对生产环境提出了相应于工艺过程的不同洁净级别要求。除了限定空气中尘埃粒子的大小和含量外,对生物粒子(细菌数)也有明确的限制。
洁净度等级千级无尘车间的洁净度等级为1000粒子/立方米,适用于一些要求较高的场合,如半导体制造、光学仪器等。百级无尘车间的洁净度等级为100粒子/立方米,适用于要求更高的场合,如生物制、精密电子等。 2.过滤器配置 千级无尘车间通常采用初中三级过滤系统;而百级无尘车间则需采用更高级别的过滤器,以达到更高的洁净度要求。
千级无尘车间可采用乱流或层流方式进流组织;百级无尘车间则采用层流方式,以确保洁净室内空气的均匀分布。
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无尘车间的应用范围其广泛,几乎涵盖了对环境清洁度有严格要求的行业:- 半导体制造业:芯片的制造过程对尘埃其敏感,哪怕是一粒微尘也可能导致芯片失效。
- 生物制:在无菌环境下生产疫苗、抗体物,污染,确保品有效。
- 光电显示:如LCD、OLED屏幕的制造,微尘都会影响显示效果和产品寿命。
- 精密仪器制造:如高端光学镜头、航天航空器件等,对洁净度的要求高。
为了确保项目按时完成,建议提前规划并与承包商沟通清楚施工时间表,以便在施工过程中及时调整和解决问题。 确保洁净车间的符合性可以通过定期监测环境参数、严格执行标准操作程序、进行人员培训和维护设备的有效性来实现。 层流和湍流是空气流动的两种状态。层流是指空气在洁净室内以平行层的形式流动,颗粒物的迁移小,适合对洁净度要求较高的环境。湍流则是气流混乱且不规则,适合一些对洁净度要求相对较低的应用场合。选择哪种流动方式取决于洁净室的具体需求和应用场景。