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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
压差梯度维持:洁净区对非洁净区保持 正压（压差≥10Pa），核心区压力高。安装压差计实时监测，异常时自动报警并调整送/排风量。三、清洁与程序 日常清洁:使用无尘工具:超细纤维布、无脱落拖把、吸尘器（HEPA过滤）。清洁剂:中性无残留溶剂（如异丙醇），避免腐蚀设备。 频率:每日清洁地面、墙面；每周彻底清洁设备表面及。与灭菌化学:过氧化氢、季铵盐类，轮换使用以防耐性。
合理设计:无尘车间的设计要合理,既要满足生产工艺的要求,又要符合和的原则。同时,要考虑到车间的布、运输、人员流动等因素。选择合适的设备:对于无尘车间所需的设备,要选择性能稳定、易于维护且符合要求的。此外,还要考虑到设备的成本和更换周期。4. 人员培训和管理:由于无尘车间的环境,需要对员工进行专门的培训,确保他们了解如何在无尘环境下进行操作和管理。同时,要有完善的管理制度来车间的清洁度。
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无尘车间又称无尘室，洁净车间，净化车间，洁净室等。百级无尘车间是根据中华人民共和国国家标准GBJ73—84，《洁净厂房设计规范》（下面简称《规范》）明确规定了空气洁净度的四个等级（洁净度即指洁净环境中空气含尘粒多少的程度），并 ... 了相应表格以示划分之标准:
这是依据美国联邦标准209E中洁净室等级标准换算出来的，每一等级都对每立方米空气中直径大于等于0.5um的灰尘粒的数量有严格的规定。《规范》还详加注明:“对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数，应进行多次采样，当其多次出现时，方可认为该测试数值是的。”
1 设计原则无尘车间的设计遵循严格的标准，确保能够有效地控制空气中的微粒含量。设计时需考虑以下几个关键因素: - 空气净化系统:采用过滤器(HEPA)和超过滤器(ULPA)来过滤空气中的微粒。 - 气流模式:根据车间的等级选择垂直层流或水平层流，确保空气以均匀的速度流动。
- 压力控制:维持正压环境，外部污染进入。
- 建筑材料:使用不易产生灰尘的材料，如不锈钢和抗静电材料。