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无尘车间清洁剂的安全标准
洁净室清洁剂需通过多项安全认证,包括NFPA 704危险品标识、RoHS 2.0等。其闪点要求>93℃,避免成为点火源。某Fab厂的事故分析显示,使用不含磷酸盐的清洁剂后,化学品伤害事件减少85%。所有清洁剂容器必须采用防漏设计,并通过72小时密封测试。
洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。洁净度和控制污染的持续稳定性,是检验无尘车间质量的核心标准,该标准根据区域环境、洁净程度等因素,分为若干等级,常用的有标准和国内区域行业标准。 ISO14644-1标准—空气洁净度等级划分 空气洁净度等级(N)大于或等于所标粒径的粒子大浓度限值(空气粒子数个/立方米)ISO Class1 ISO Class2 ISO Class3
洁净车间装修施工,遵循《洁净厂房施工验收规范》-GB2016的相关规定进行,保障有效的洁净环境标准洁净车间的空气流动设计要求确保空气均匀分布,以减少和污染物的积聚。通常采用层流或湍流系统,根据洁净等级的不同选择适合的气流模式。 此外,设计中应考虑进风口和排风口的位置,以优化空气换气效率并洁净室内的温湿度稳定。合理的空气流动设计是维持洁净环境的关键。 净化厂房的施工周期因项目规模和复杂性而异。一般来说,小型净化厂房的施工周期可能在几周到几个月之间,而大型项目则可能需要数月到一年不等。施工周期的长短还受制于设计审批、材料采购和施工队伍的安排等因素。项目管理的有效性也对施工进度有重要影响。
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洁净车间的日常维护包括定期清洁和设备检查。清洁工作应由专门培训的人员进行,使用适合洁净室的清洁剂和工具,确保不会对洁净环境造成污染。此外,定期检查空气过滤系统和HVAC(暖通空调)设备,以确保其正常运作,对保持洁净度。维护记录应当详细记录,以便追踪和管理。评估洁净车间的空气质量通常需要进行颗粒物监测和空气质量检测。可以使用粒子计数器来测量空气中不同粒径的颗粒物浓度,确保其符合相应的洁净室等级标准。
Class X (at Y μm ),At-rest供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。第三个技巧是自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘室都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如:Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built